微小气体流量计

一、产品概述

MF4000系列气体质量流量计于2008年首次发布，现已更新升级到最新的第三代。
MF4000系列气体质量流量计采用本公司专有的第四代MEMS流量传感芯片，集成了时域流量传感技术和智能电子技术。与市场上传统的量热式流量传感技术相比，这种独特的时域流量传感技术消除了一些常见气体的敏感性。而对于另外一些敏感性气体，可以配合软件实现气体识别。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料钝化，并结合防水、防油纳米涂层，产品性能和可靠性得以大幅提高。时域流量传感技术还提供了更好的线性度，并使温度效应大幅降低。
MF4000系列气体质量流量计能直接测量气体质量流量，适用于各类清洁、干燥气体。MF4000工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖0~50SLPM。MF4000提供多种信号输出，通过RS485、RS232或|C数字通讯接口可实现远程数据采集与设置。MF4000具备LED数字显示和按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数。

二、产品特点

三、工作原理

MF4000系列气体质量流量计是基于矽翔微机电系统有限公司自主研制MEMS流量传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。
该流量计的MEMS芯片上集成了微热源与温度传感器。当没有气体流过时，MEMS芯片上的微热源周边形成稳定的温度场分布。当有气体流过时，微热源周边会形成新的温度场分布。MEMS芯片上的温度传感器将测量到具体的温度变化并转换为电信号，经放大、调理和线性化处理后，通过LED显示或模拟、数字信号输出。由于不同种类的气体对微热源周边形成稳定的温度场分布所产生的温度变化不同，所以能测量气体的质量流量。

四、产品参数