微小气体流量传感器

一、产品简介
FS4001系列小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。独特的装技术使之可用于各类管径，成本低、易安装、不量传感器。

二、产品特点
传感器灵敏度高，有极小的始动流量传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高传感器的零点稳定度高
全量程高稳定性
全量程高精确度和忧良的重复性低功耗，低压损
响应时间快

三、产品选型

四、技术参数